miniSMU MS01 擅长精确测量电压和电流。本节介绍如何使用设备进行基本测量,无论您是测量电压、电流,还是同时测量两者。
测量准备
开始测量之前,请确保:
- 设备已正确连接并开机
- 您已配置合适的输出设置
- 被测器件(DUT)已连接到相应的通道
- 保护限值已设置为适合 DUT 的数值
测量电压
要测量指定通道上的电压,请使用 MEASx:VOLT? 命令,其中 x 为通道号(1 或 2):
MEASx:VOLT?
示例:
MEAS1:VOLT?
此命令测量并返回通道 1 上的电压。
响应示例:
5.023
表示测得的电压为 5.023 伏。
说明:
- 电压在指定通道的 BNC 接口处测量
- 测量分辨率为 6 μV
- 在标准条件下,精度为 ±(0.15% + 1.5 mV)
- 如果输出已关闭,测得的是端子上存在的外部电压
测量电流
要测量指定通道上的电流,请使用 MEASx:CURR? 命令:
MEASx:CURR?
示例:
MEAS2:CURR?
此命令测量并返回通道 2 上的电流。
响应示例:
3.25e-3
表示测得的电流为 3.25 mA(0.00325 A)。
说明:
- 电流始终以安培为单位返回
- 测量分辨率取决于电流量程,在最低量程下可达 100 pA
- 在标准条件下,精度为 ±(0.15% + 偏移量),其中偏移量随电流量程而异(15 nA 至 50 μA)
- miniSMU 会自动为测量选择最佳的电流量程
同时测量电压和电流
为了全面地表征器件,您通常需要同时测量电压和电流。
要用一条命令同时测量电压和电流,请使用 MEASx:VOLT:CURR? 命令:
MEASx:VOLT:CURR?
示例:
MEAS1:VOLT:CURR?
此命令同时测量通道 1 上的电压和电流。
响应示例:
3.301,0.00152
表示测得的电压为 3.301 伏,电流为 1.52 mA(0.00152 A)。
说明:
- 返回值为以逗号分隔的一对数值:电压,电流
- 这种组合测量可确保电压和电流在同一时刻读取
高级测量选项
设置测量过采样
对于对噪声敏感的测量,您可以调整过采样率(OSR)来提高分辨率。
可用的 OSR 值:0(最快、噪声最大)至 15(最慢、噪声最小)。OSR 每增加 1,参与平均的采样数大约增加一倍。
MEASx:OSR
示例:
MEAS1:OSR 10
此命令将通道 1 的过采样率设为 10,以较慢的测量速度为代价降低噪声。
精确测量技巧
留出预热时间
- 为获得最佳精度,请在进行关键测量之前让 miniSMU MS01 预热 30 分钟
使用合适的线缆
- 测量引线应尽量短,并保持连接良好
- 进行敏感测量时,请使用屏蔽线缆
控制环境因素
- 对敏感测量采取屏蔽措施,避免电磁干扰
- 保持环境温度稳定,以获得最佳结果
- 对于对温度敏感的元件,应避免气流吹过被测器件