miniSMU MS01 擅長精密的電壓與電流量測。本節說明如何使用您的裝置執行基本量測,無論是量測電壓、電流,或同時量測兩者。
量測前的準備
開始量測之前,請確認:
- 裝置已正確連接並已開機
- 已設定適當的輸出設定
- 待測元件(DUT)已連接到適當的通道
- 保護限值已設為適合您 DUT 的數值
量測電壓
若要量測特定通道的電壓,請使用 MEASx:VOLT? 指令,其中 x 為通道編號(1 或 2):
MEASx:VOLT?
範例:
MEAS1:VOLT?
此指令會量測並回傳通道 1 的電壓。
回應範例:
5.023
這表示量測到的電壓為 5.023 伏特。
注意事項:
- 電壓是在指定通道的 BNC 接頭處量測
- 量測解析度為 6 μV
- 在標準條件下,準確度為 ±(0.15% + 1.5 mV)
- 若輸出已停用,量測到的會是端子上存在的外部電壓
量測電流
若要量測特定通道的電流,請使用 MEASx:CURR? 指令:
MEASx:CURR?
範例:
MEAS2:CURR?
此指令會量測並回傳通道 2 的電流。
回應範例:
3.25e-3
這表示量測到的電流為 3.25 mA(0.00325 A)。
注意事項:
- 電流一律以安培為單位回傳
- 量測解析度取決於電流檔位,在最低檔位可達 100 pA
- 在標準條件下,準確度為 ±(0.15% + 偏移量),其中偏移量隨電流檔位而異(15 nA 至 50 μA)
- miniSMU 會自動為量測選擇最佳的電流檔位
同時量測電壓與電流
進行完整的元件特性量測時,您通常會需要同時量測電壓與電流。
若要以單一指令同時量測電壓與電流,請使用 MEASx:VOLT:CURR? 指令:
MEASx:VOLT:CURR?
範例:
MEAS1:VOLT:CURR?
此指令會同時量測通道 1 的電壓與電流。
回應範例:
3.301,0.00152
這表示量測到的電壓為 3.301 伏特,電流為 1.52 mA(0.00152 A)。
注意事項:
- 數值會以逗號分隔的一組值回傳:電壓,電流
- 這種組合量測可確保電壓與電流在同一時刻讀取
進階量測選項
設定量測過取樣
對於容易受雜訊影響的量測,您可以調整過取樣率(OSR)來提高解析度。
可用的 OSR 值:0(最快、雜訊最大)至 15(最慢、最乾淨)。OSR 每增加 1,參與平均的取樣數約增加一倍。
MEASx:OSR
範例:
MEAS1:OSR 10
此指令會將通道 1 的過取樣率設為 10,以較慢的量測速度換取較低的雜訊。
準確量測的訣竅
預留暖機時間
- 為獲得最佳準確度,進行關鍵量測之前,請讓 miniSMU MS01 暖機 30 分鐘
使用合適的線材
- 量測導線應盡量短,並確實連接
- 進行敏感量測時,請使用屏蔽線
控制環境因素
- 讓敏感量測避開電磁干擾
- 維持穩定的環境溫度,以獲得最佳結果
- 量測對溫度敏感的元件時,避免讓氣流吹過待測元件